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アイセム

半導体関連

  
  • 清水 健一
  • 〒 252-0243 神奈川県相模原市中央区上溝1880番-2 SIC-3 304
  • TEL : 042-746-5014  FAX : 042-746-5014
  • E-mail : shimizuk@ocn.keio.ac.jp  

薄膜分析でお困りの方、一度ご相談ください。

超低加速・超高分解能FE-SEMと高周波グロー放電スパッタを用いた新規サンプル表面前処理法の普及により、”真に産業に貢献できる電子顕微鏡の新たな世界”を確立する。

超低加速・超高分解能FE-SEMと試料前処理法に関する啓蒙活動。超ミクロトームを用いた断面試料作製。高周波グロー放電発光分光法による薄膜分析。


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