Interview 003
株式会社テクノメイト

 

温度、圧力、流体を科学する

3Dメガネ洗浄機

スラリー供給装置

実証システムで設置されたタンク

 1994年創業の株式会社テクノメイトは、「温度、圧力、流体を科学する」をテーマに半導体製造装置周辺機器の設計、制作を主体に、顧客のニーズに対応した製品開発を行っています。
同社の主力製品は、自社開発品であるスラリー供給装置をはじめ、昇圧ポンプユニット、高圧ポンプユニット、純水加熱装置であり、最近では新たにデジタル3Dシネマやテレビなどの専用メガネの洗浄装置の開発など、お客様のアイデアの具現化に取り組んでいます。また、自社技術の範囲を広げるためSIC燃料電池研究会などに属し、燃料電池や燃料供給装置などの新規分野への参入を目指し活躍しています。

(スラリー供給装置とは)
ICチップを作るウェハーは、カード化に向けて極限まで薄く作らなければならず、この薄片化するための機械は、バックグラインダーという半導体装置が導入されています。スラリー供給装置はこの機械に付属する文字どおり研磨のためのスラリー(砥粒液)を供給する装置です。

(高圧水発生装置とは)
携帯などに載せるICチップやモールドICのカッティングやバリ取洗浄用に用いられる他、各種洗浄装置、冷却などに用いられます。

 

SIC低炭素プロジェクトでの役割

本プロジェクトでは、潟潟Kルジョイント、日本コントロール工業(株)と連携し、雨水槽、浄化槽、ポンプ、水電気分解装置や純水装置など、テーマである雨水の有効利用の実現を担当しています。これらの流体制御機器の設置、配管及び電気配線を行った後、適性確認、予備実証試験、データ収集と解析など、一連の流体制御システムを担当します。

 

今回取材をさせていただきました
代表取締役 芦田春幸氏

【会社概要】
株式会社テクノメイト
代表取締役社長 芦田 春幸
所在地:八王子市小宮町785-1
創業:1994年7月
事業内容:
スラリー供給装置、昇圧ポンプユニット、高圧ポンプユニット、純水加熱装置等半導体製造装置周辺機器、3Dメガネ洗浄機

(株)テクノメイトウェブサイト
http://www.technomate.co.jp/

 

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